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高温高真空CVD一体机

发布时间:2022-08-16  浏览次数:913

设备简介:

NBD-CVD系列高温炉整体采用国际先进制造工艺,并且从美学艺术角度出发,根据人体安全的角度进行设计。

控制数学模型采用先进的PID自学习模糊控制,使控温精度保持在±1℃。经过长期多次的各种试样实验验证,几乎可以适用于所有类型材料的焙烧。


  

 

 

 

 

 

 


技术参数: 

  设备设备采用15.6英寸大尺寸全触屏智能人机交互系统,高真空分子泵机组,新一代无油涡旋真空泵作为前级泵,以及高精度气体质量流量控制系统,可以实现样品在高精度气体控制、高温(Tmax:1650℃)条件下的智能化操作。

产品型号

NBD-T1700-80T22G3Z

最高温度

1700

额定温度
1650℃

控温精度

±1℃

触摸屏尺寸

15.6英寸

额定功率 10KW

传感器类型

B型

推荐升温速率

≤10/min

炉管尺寸
Ø80*1200mm 
极限真空度

6×10-4Pa

炉体外形净尺寸
长1690×高1410×深765mm

 无油旋式干式真空泵 前级泵,具有结构简单,密封性能好,极限真空高等优点。在应用方面具有运行成本低、工作寿命长、可靠性高、噪音低等显著特点,在无油清洁应用领域有着不可比拟的优势。)


     控制系统     


1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置;
2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结;
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录;
4、具有实现远程操控,实时观测设备状态;
5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正。

气体系统(可选购)

流量计类型

浮子流量计

质量流量计

管道示意图

 

 

进气接口数量

2、3、4(多路可选)

流量范围

20-200/60-600l/min(多量程可选)

50/100/200sccm(多量程可选)

工作压差范围

0-0.15MPa

低真空系统(可选购)

真空泵型号

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽气速率

1L/s

3L/s

4L/s

进排气口尺寸

Φ8mm宝塔接头

Φ8mm宝塔接头

KF16/25

极限压力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作温度

5-40

电气规格

AC220V

分子泵高真空系统

(可选购)

分子泵系统型号

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽气速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空测量计

复合真空计

极限压力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作温度

5-40

电气规格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746

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